едва1. нареч.
1) а) Лишь только, только что (о начальном моменте какого-л. действия).
б) перен. Слегка, чуть-чуть.
2) 
Насилу, с трудом.
2. союз
Употр. при присоединении придаточной части 
сложноподчиненного предложения, 
действие которой совершается непосредственно перед действием главной части; едва 
лишь, едва только, как только, лишь только.
***
2.  ли
частица(а также разг. едва ль)
Употр. при выражении сомнения; 
вряд ли, вероятно нет.
***
3.  ли не
частица
(а также разг. едва ль не)
Употр. при выражении приблизительности чего-л.; чуть ли не, 
пожалуй.
***
4.  лишь
союз
Употр. при присоединении придаточной части сложноподчиненного предложения, 
действие которой совершается непосредственно перед действием главной части; 
едва, едва только, как только.
***
5.  ль
частица разг.
см. едва ли.
***
6.  ль не
частица разг.
см. едва ли не.
***
7.  не
частица
Употр. при указании на 
приблизительность действия; чуть не, почти.
***
8.  только
союз
Употр. при присоединении придаточной части сложноподчиненного предложения, 
действие которой совершается непосредственно перед действием главной части; 
едва, едва лишь, как только.